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Pirani真空計，作為一種熱導(dǎo)率測量儀，其工作原理基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力降低而降低的特性。在Pirani真空計中，加熱絲作為核心部件，被封閉在一個室內(nèi)，并通過恒定電流加熱。加熱絲的溫度升高后，其溫度取決于通過傳導(dǎo)和對流向周圍氣體散熱的速率。當(dāng)加熱絲被真空或低壓氣體包圍時，熱導(dǎo)率降低，加熱絲因此變得更熱，導(dǎo)致電阻變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來精確測量，從而得出與周圍氣體壓力相關(guān)的輸出讀數(shù)。 XEN-3880-RW，作為Xensor Integration公司的一款Pirani真空計傳感器，其工作原理更為精細。它通過對薄膜中心的熱電堆的熱接點和芯片框架上的冷接點之間的熱阻進行測量來實現(xiàn)功能。加熱器電阻器加熱膜的中心，產(chǎn)生的溫度升高通過熱電堆來測量。實際溫度升高的程度取決于膜中心和環(huán)境之間的有效熱阻，這一熱阻受到環(huán)境氣體熱阻的直接影響。因此，XEN-3880-RW能夠準確地反映出真空系統(tǒng)中的氣體壓力變化。
XEN-3880-RW熱導(dǎo)式氣體傳感器
XEN-3880-RW是荷蘭Xensor Integration公司生產(chǎn)的一款高性能熱導(dǎo)式氣體傳感器，具有以下特點：
- 高靈敏度： 對氣體濃度變化非常敏感，能夠檢測到微小的壓力變化。
- 高分辨率： 能夠提供精確的壓力測量結(jié)果。
- 寬工作溫度范圍： 可在-250°C~150°C的溫度范圍內(nèi)工作。
- 寬濕度范圍： 可在0~95% RH的濕度范圍內(nèi)工作，無冷凝現(xiàn)象。
- 低流量靈敏度： 對氣體流速的變化不敏感，能夠提供穩(wěn)定的測量結(jié)果。
- 小型化設(shè)計： 體積小巧，易于集成到各種設(shè)備中。
XEN-3880-RW在皮拉尼真空計中的應(yīng)用
XEN-3880-RW傳感器可以用于各種皮拉尼真空計中，廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
- 半導(dǎo)體制造： 實時監(jiān)測真空腔體內(nèi)的壓力，確保工藝過程的穩(wěn)定性和重復(fù)性。
- 真空鍍膜： 精確控制真空度，保證薄膜的質(zhì)量和性能。
- 材料研究： 實時監(jiān)測真空系統(tǒng)的壓力，為材料的制備和表征提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。
- 表面科學(xué)： 確保實驗過程中的壓力穩(wěn)定，提高實驗數(shù)據(jù)的可靠性。
- 航空航天： 監(jiān)測真空艙內(nèi)的壓力，確保測試條件的準確性。
- 真空冶金： 精確控制爐內(nèi)的真空度，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
- 真空干燥： 監(jiān)測干燥過程中的壓力，確保產(chǎn)品質(zhì)量和安全。
- 真空包裝： 提供實時壓力監(jiān)測，保證包裝質(zhì)量。
- 真空檢漏： 檢測微小的泄漏點。
值得一提的是，Pirani真空計還具有許多優(yōu)點，如易于使用、經(jīng)濟實用、輸出監(jiān)控靈活等。它沒有移動部件，因此能夠提供多年無故障、可靠的壓力測量。同時，由于其內(nèi)部尺寸較小，儀表的響應(yīng)速度也非?？臁Ｈ欢?，需要注意的是，對流增強型Pirani真空計在測量過程中可能需要更大的體積來支持對流，因此響應(yīng)速度可能稍慢。此外，在污染嚴重的系統(tǒng)中使用時，應(yīng)采取適當(dāng)?shù)拇胧﹣硌娱L儀表的使用壽命。
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發(fā)表于 2025-2-12 10:35:59
